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    激光干涉儀以激光波長為已知長度,采用激光干涉原理來測量位移長度,是至今公認的高精度測量儀器,其測量結果可溯源到長度自然基準,在精密測量和高端制造領域應用廣泛。

    名稱:QL-600激光干涉儀
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    一、 產品概述

    微信圖片_20200617142612.png

    激光干涉儀以激光波長為已知長度,采用激光干涉原理來測量位移長度,是至今公認的高精度測量儀器,其測量結果可溯源到長度自然基準,在精密測量和高端制造領域應用廣泛。


    QL--600激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,技術源于大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室數十年研發成果,擁有自主知識產權,全產業鏈自主生產,技術指標達到或優于國外同類產品,擁有較高的測量精度和性價比,其穩定的重復性和高精度得到業界公認,受到用戶的一致好評。


    QL--600激光干涉儀系統主要設計用于機床及三坐標測量機位置精度和幾何精度的評價與標定,并被設計得便攜、易于調整和方便使用。該系統由光學組件和測量設備組成,并可配置成各種不同的應用組合。QL--600激光干涉儀配置不同光學鏡組可測量線性定位精度、角度、直線度、平行度、垂直度、平面度。


    二、 結構原理

    激光干涉儀是一種以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉原理測量位移的通用長度測量儀器。激光干涉儀一般使用氦氖激光,其光為紅色,真空波長為632.99nm。


    當兩束振動方向相同、頻率相同,位相相同或位相差恒定的光在空間任一點相遇時其位相差也是恒定的,因而在空間某些地方的振動始終加強,而在另一些地方的振動始終減弱或完全抵消,這種現象稱為光的干涉。

    微信截圖_20200617142704.png


    QL--600激光干涉儀的激光器輸出含兩種正交模式的雙縱模激光,這兩種模式的光強用光敏二極管測量,通過加熱器控制激光管長度來實現穩頻。


    微信圖片_20200617142741.png


    在線性測量中,角錐反射鏡將兩束光返回到分光鏡中,光束疊加并彼此干涉。如果測量光路長度改變(角錐反射鏡C移動),干涉光束的相對相位將改變,由此產生的相長干涉和相消干涉的循環將導致疊加光束強度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動316nm(因為此移動會造成633nm的光路長度變化),就會出現一個光強變化循環(明-暗-明),通過計算這些循環來測量移動并進行進行相位細分。

    微信圖片_20200617142812.png

     


    三、 儀器特點

    1、完全的自主知識產權

    QL--600激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,技術源于大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室數十年研發成果,擁有完全的自主知識產權。生產廠家是全球極少數擁有激光器和激光干涉儀全套產線的高科技企業,技術指標達到或優于國外同類產品,其卓越的性能和極高的穩定性受到一致好評。

    2、高精度高穩定性

    QL--600激光干涉儀采用高性能的穩頻氦氖激光器, 其真空波長為632.99nm,且長期波長穩

    定性優于±0.04ppm。線性測量距離大于40m,測量分辨力達到1nm,具有極高的測量精度。

    3、全自動智能測量

    在檢定線性定位精度時,操作者只需設定好測量參數,在軟件界面點擊【開始檢定】按鈕,系統即可完成定位精度的全自動測量,極大減輕了操作者的勞動強度,同時也避免人工操作引入的誤差

    .4、自動計算、自動處理數據、自動生成報表

    檢定過程中自動處理數據、自動生成報表,海量檢定記錄存儲,隨時查詢打印。


    四、 技術參數

    序號

    貨物名稱

    主要規格

    一、

    QL--600激光干涉儀

    1.1

    QL--600激光頭

    激光功率:>0.5mW

    波長長期穩定度:±0.04ppm

    分辨率:1nm

    最高測量速度:4m/s

    預熱時間:≤5min

    動態采集頻率:50kHz

    工作溫度范圍:0-40℃

    存儲溫度范圍:(-20~70)℃

    環境濕度:(0~95)%RH

     1.2

    環境測量及波長補償單元

    相對濕度:工作范圍 0-95%RH

    測量精度 ±5%RH

    空氣壓力:工作范圍 65-115kPa

    測量精度 ±100Pa

    空氣溫度:工作范圍 0℃-40℃

    測量精度 ±0.1℃

    材料溫度:工作范圍 0℃-55℃

    測量精度 ±0.1℃

    分辨力 0.01℃

    1.3

    線性位移測量單元

    測量范圍:≥40m

    分 辨 率:1nm

    測量精度:±0.5ppm  (0~40)℃

    最高測量速度:4m/s

    二、

    直線度測量單元(0.1-4m)

    直線度測量范圍:±3mm

    直線度測量精度:±0.5%示值±0.5±0.15L2μm

    (L為測量距離,單位米)

    分 辨 率: 0.01μm


    五、 檢定依據

    QL--600激光干涉儀滿足JBT 5610-2006 《激光干涉儀》,JJG 353-2006 《633nm穩頻激光器檢定規程》,JJG 739-2005《激光干涉儀檢定規程》等國家標準。


    六、 儀器校準

    QL--600激光干涉儀根據JJG 739-2005《激光干涉儀檢定規程》進行校準。


    七、 產品配置清單

    編號

    產品描述

    數量

    備注

    一、QL--600激光干涉儀

    1激光頭及安裝附件

    1-1.1

    QL--600激光頭

    1


    1-1.2

    電源適配器及線纜

    1套

    電源適配器、三芯插頭

    1-1.3

    USB連接線

    1


    1-1.4

    三腳架

    1


    1-1.5

    云臺

    1


    1-1.6

    安全攜帶箱

    1


    1-1.7

    三腳架攜帶包

    1


    2 環境補償組件

    1-2.1

    LC2000傳感器適配卡

    1


    1-2.2

    空氣傳感器

    1


    1-2.3

    材料傳感器

    3

    注:標配一個

    1-2.4

    傳感器線纜

    1套

    USB線1根、傳感器連接線4根

    3 線性位移測量組件

    1-3.1

    線性反射鏡

    2


    1-3.2

    干涉鏡

    1


    1-3.3

    調光靶標

    1


    4 光學鏡安裝組件

    1-4.1

    鏡架(配螺紋桿)

    2


    1-4.2

    支桿

    3

    M8

    1-4.3

    磁力表座

    2


    1-4.4

    固定底板

    2


    1-4.5

    氣泡水平儀

    1


    1-4.6

    磁力表座適配器

    1

    M8

    二、直線度測量組件

    2-1

    直線度干涉鏡(0.1-4m)

    1


    2-2

    直線度反射鏡(0.1-4m)

    1


    三、電腦

    3-1

    筆記本電腦/臺式電腦

    1


    三、軟件

    3-1

    測量分析軟件

    1

    U盤

    四、使用手冊

    4-1

    QL-600激光干涉儀使用手冊

    1

    U盤

    4-2

    QL-600激光干涉儀軟件使用手冊

    1

    U盤

    五、檢測報告

    5-1

    中國計量院出具檢定證書

    1


    六、配置清單

    6-1

    QL-600激光干涉儀配置清單

    1



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